ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

ГОСУДАРСТВЕННАЯ СИСТЕМА ОБЕСПЕЧЕНИЯ ЕДИНСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЙ В ДИАПАЗОНЕ

120000 мкм

ГОСТ 8.536-85

Издание официальное

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО СТАНДАРТАМ Москва

РАЗРАБОТАН Государственным комитетом СССР по стандартам ИСПОЛНИТЕЛИ

Л. С. Бабаджанов , канд. техн. наук (руководитель темы); Ю. Н. Николаиш-вили; В. Н. Филимонова

ВНЕСЕН Государственным комитетом СССР по стандартам

Член Госстандарта Л. К. Исаев

УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 6 декабря 1985 г. № 3859

УДК 389.14.089.6:006.354

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР mmammmsmwnm'wmammmmmm-Tuiwm шмгдгд»? тшштиятятитттштаттвшт

Государственная система обеспечения единства измерений

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЙ В ДИАПАЗОНЕ 1-20000 мкм

State system for ensuring the uniformity of measurements. State verification schedule for means measuring the co-ating thickness in the range of 1 to 20000 p,m

0КСТУ 0008

Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 6 декабря 1985 г. № 3859 срок введения установлен

с 01.01.87

Настоящий стандарт распространяется на государственную поверочную схему для средств измерений толщины покрытий в диапазоне 1 -г-20000 мкм и устанавливает назначение установки высшей точности для воспроизведения единицы длины в области измерений толщины покрытий в диапазоне 14-30 мкм, основные метрологические характеристики установки высшей точности и порядок передачи размера единицы длины в области измерений толщины .покрытий в диапазоне 1-4-20000 мкм, при (помощи образцовых средств измерений рабочим средствам измерений с указанием погрешностей и основных методов поверки.

1. УСТАНОВКА ВЫСШЕЙ ТОЧНОСТИ

1.1.    Установка высшей точности предназначена для воспроизведения и хранения единицы длины в области измерений толщины покрытий в диапазоне 1—30 мкм и передачи размера единицы при помощи образцовых средств измерений рабочим средствам измерений, применяемым в народном хозяйстве с целью обеспечения единства измерений в стране.

1.2.    В основу измерений толщины покрытий, выполняемых в СССР, должна быть положена единица, воспроизводимая указанной установкой высшей точности.

1.3.    Установка высшей точности состоит из комплекса следующих средств измерений:

оптический квантовый генератор по ГОСТ 25373-82;

Перепечатка воспрещена © Издательство стандартов, 1986

Стр. 2 ГОСТ 8.536-85

специальный интерферометр;

система обработки информации.

1.4.    Диапазон значений единицы длины в области измерений толщины покрытий, воспроизводимых установкой высшей точности, составляет 1—30 мкм.

1.5.    Установка высшей точности обеспечивает воспроизведение единицы длины в области измерений толщины покрытий со средним квадратическим отклонением результата измерений 5, не превышающим 0,006 мкм. Неисключенная систематическая погрешность © не превышает 0,009 мкм.

1.6.    Для обеспечения воспроизведения единицы длины в области измерений толщины покрытий с указанной точностью должны быть соблюдены правила хранения и применения установки высшей точности, утвержденные в установленном порядке.

1.7.    Установку высшей точности применяют для передачи размера единицы длины в области измерений толщины покрытий образцовым средствам измерений 2-го разряда методом прямых измерений.

2. ОБРАЗЦОВЫЕ СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

2.1.    Образцовые средства измерений, заимствованные из других поверочных схем

2.1.1.    В качестве образцовых средств измерений, заимствованных из других поверочных схем, применяют образцовые плоскопараллельные концевые меры длины 1-го разряда по ГОСТ 8.020—75.

2.1.2.    Образцовые плоскопараллельные концевые меры длины 1-го разряда применяют для поверки комплекса средств для поверки мер толщины покрытий 1-го разряда и установок для поверки магнитных и вихретоковых толщиномеров диэлектрических покрытий методом прямых измерений .

2.2.    О б р а з цо в ы е средства измерений 1-го разряда

2.2.1.    В качестве образцовых средств измерении 1-го разряда применяют комплекс средств для поверки мер толщины покрытий в диапазоне 1-^10000 мкм, состоящий из комплекта средств для поверки мер толщины покрытий, интерферометра и профило-графа.

2.2.2.    Пределы допускаемых абсолютных погрешностей А образцовых средств измерений 1-го разряда составляют (0,05 + + 0,01 h) мкм, где h — толщина покрытия в мкм.

2.2.3.    Образцовые средства измерений 1-го разряда применяют для поверки образцовых средств измерений 2-го разряда и рабочих мер толщины покрытий методом прямых измерений.

ГОСТ 8.536-85 Стр. У

2.3. Образцовые средства измерений 2-го раз-ряда

2.3.1.    В качестве образцовых средств измерений 2-го разряда применяют образцовые меры толщины покрытий в диапазоне 1-МООО мкм и установки для поверки магнитных и вихретоковых толщиномеров диэлектрических покрытий в диапазоне 1—20000 мкм.

2.3.2.    Пределы допускаемых абсолютных погрешностей А мер толщины покрытий составляют от (0,3+0,025 h) до (0,1 + + 0,025 /г) мкм; установок для поверки магнитных и вихретоковых толщиномеров диэлектрических покрытий в диапазоне 0,001-г* +*0,05 мм — 0,6 мкм, в диапазоне 0,05+-2,00 мм — 20 мкм, в диа~ пазоне 2-^20 мм — 20 мкм.

2.3.3.    Образцовые средства измерений 2-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений методом прямых из-мерений.

3. РАБОЧИЕ СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИИ

3.1.    В качестве рабочих средств измерений применяют меры толщины покрытий различных сочетаний материалов оснований и покрытий и толщиномеры покрытий, сгруппированные по назначению в зависимости от материалов покрытий и оснований.

3.2.    Пределы допускаемых абсолютных погрешностей рабочих средств измерений составляют для мер от (0,3+0,05 ft) до (0,2+ + 0,05 ft) мкм, для толщиномеров покрытий от 0,4 до 200 мкм.

Редактор В. С. Бабкина Технический редактор В. Н. Прусакова Корректор В. Ф. Малютина

Сдано в наб. 24.12.S5 Подп. в печ. 03i.02.86    0,5    усл„    печ.    л.    +вкл.    0,25    уел.

0,18 уч.-изд. л. +вкл.    0,31 уч.-изд. л.    Тир.,    16    000    Цена

Ордена «Знак Почета» Издательство стандартов, 123840, Москва, ГСП, Новопресненский пер.* 3 Тип. «Московский печатник». Москва,, Лялин пер., 6. Зак. Ш75