ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ

СОЮЗА ССР

ПРИБОРЫ ОПТИЧЕСКИЕ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ

ТИПЫ И ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ

ГОСТ 9847-79

10 руб. БЗ 6—92

Издание официальное

ИЗДАТЕЛЬСТВО СТАНДАРТОВ Москва

УДК 531.715:006.354 Группа П41

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

ГОСТ

9847—79

ПРИБОРЫ ОПТИЧЕСКИЕ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ

Типы и основные параметры

Optical instruments for surface roughness parameters measuring. Basis parameters and types

ОКП 44 3160

Дата введения 01.01.81

Настоящий стандарт распространяется на оптические приборы (далее — приборы), действие которых основано на принципе одновременного преобразования профиля поверхности, предназначенные для измерения параметров Rmax, fe и S по ГОСТ 2789-73, а также устанавливает типы и основные параметры оптических приборов при визуальных измерениях параметров шероховатости при помощи отсчетного устройства.

Требования к величине линейного поля зрения (табл. 4, 5 и 6), а также требования пп. 2.1, 2.2.1—2.2.3, 2.4.1—2.4.3, 2.7 и 2.8 настоящего стандарта являются обязательными, другие требования — рекомендуемыми.

(Измененная редакция, Изм. № 2).

1. ТИПЫ

Типы приборов устанавливаются слсд\ющие:

ПТС — прибор теневого сечения;

ПСС— прибор светового сечения;

МНИ — микроскоп интерференционный измерительный, действие которого основано на двулучевой интерференции света;

МПИ — ми крое коп-профи л ом етр интерференционный, действие которого основано на интерференции света с образованием полос равного хроматического порядка.

(Измененная редакция, Изм. tfc 1).

Издание официальное Перепечатка воспрещена

(Ё) Издательство стандартов, 1979 (С"> Издательство стандартов, :993 Переиздание с изменениями

ГОСТ 9847-79 С. 2

2. ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ

2.1. Диапазон измерений параметров шероховатости приборами должен соответствовать или находиться внутри пределов изме-

рений, указанных в	табл. 1.	Таблица 1
Тип нркбора	Параметр шероховатости	Пределы измерений
ПТС	\RZ, m а х	4(0—320 мкм
ПТС	5	0,2—1,6 мм
ПСС	Rz, Rmax	0,5—40 мкм
ПСС	S	0ДО2—0,5 мм
ми и	l Rz, R та x	0,05—0,8 мкм
ми и	S	0,002—0,05 мм
мпи	iRz, R m a a'	0,05—0,8 мкм

Примечание. Допускается изготовлять приборы специального назначения с диапазоном измерения, выходящим за пределы, указанные в табл. 1.

(Измененная редакция, Изм. № 1).

2.2. Основные параметры приборов типов ПТС и ПСС должны соответствовать указанным в табл. 2 и в пп. 2.2.1—2.2.3.

Термины, используемые в стандарте, и их определения указаны в приложении 2.

{Таблица 2

Диапазон ишерения параметров Rz и R_max, мкм	Линейное поле зрения, мм, не менее	Увеличение объектива с дополнительной линзой, крат, не менее	Апер 1vpa объектива	Общее 'увеличение микроскопа, крат, не более
От 4Ю ДО 320	8	1	0,03	32
			от	32
От 10 до 40	2,5	4	ол	во
			0,12	60
			10,И5	60

С. 3 ГОСТ 9847-79

Продолжение табг. 2

Диапазон измерения параметров Rz и R_max> мкм	Линейное поле зрения, мм, не менее	Увеличение объектива с дополнительной линзой, крат, не менее	Апертура (объектива	Общее увеличение микроскопа, крат, не более
От 4 до 10	0,8	10	О_а2	200
			0,3	,160
От 1,6 до 4	0,8	12,5	0,4	260
			0,415	200
От 0,5 до 1,6	0,25	за	0,5	750
			06	620

2.2.1. Номинальные значения характеристик объективов в приборах типа ПСС в проектирующем микроскопе и микроскопе наблюдения должны быть одинаковыми для каждого диапазона измерений.

2.2.2. Номинальное значение угла между оптическими осями микроскопов должно быть 90°.

2.2.3. Отклонение от прямолинейности изображения края тени или щели в пределах линейного поля зрения не должно превышать 5 мкм в фокальной плоскости окуляра.

2.3; 2.3.1. (Исключены, Изм. № 1).

2.4. Основные параметры приборов типа МИИ должны соответствовать указанным в табл. 5 и пп. 2.4.1—2.4.3.

Таблица б

Диапазон измерения параметров Rz и R_mux, мкм	Линейное поле зрения, мм, не менее	Апертура объектива	Общее увеличение микроскопа, крат, не более
От 0,1 до 0,8	0,25	0,3	400
От 0,1 до 0,8	0,25	0,5, €>66	670
От 0,06 до 0,4	0,25	0,85, 0,95	112(0
От 0,05 до 0,1	0,08	0,95; 1,25	2500

ГОСТ 9847-79 С. 4

2.4.1. Искривление интерференционных полос в поле зрения В направлении измерения нс должно быть более 0,1 полосы для диапазона измерения от 0,1 до 0,8 мкм и 0,05 полосы для диапазона измерения от 0,05 до 0,1 мкм.

2.4.2. Смещение интерференционных полос в поле зрения не должно быть более чем на одну полосу в течение 15 мин через

1 ч после включения прибора.

2.4.3. Предел допускаемой погрешности аттестации эффективной длины волны источника монохроматического излучения —

2 нм.

2.5. Основные параметры приборов типа МПИ должны соответствовать указанным в табл. 6.

Таблица б

Пределы измерения параметров Rz и R_maxi мкм

Наименование параметра

от 0,1 до 0,8

от 0,05 до 0,5

Апертура объектива, не менее

Линейное поле зрения, мм, не менее

Общее увеличение прибора, не менее

Обратная линейная дисперсия диспергирующей

системы для X_D, нм/мм, не более

Предел разрешения диспергирующей системы для Х_Г), нм, не более

Число интерференционных полос равного хроматического порядка в рабочей части поля зрения

Смещение интерференционных полос равного хроматического порядка в поле зрения в течение 15 мин через 1 ч после включения в долях полосы, не более

0/5

0,25

300

0,35

5*00

0.2

2.6. Увеличение при фотографировании должно обеспечивать фотографирование участка поверхности, соответствующего линейному полю зрения, указанному в табл. 2, 3, 5, 6.

2.7. Характеристики относительной погрешности для приборов типов ПТС, ПСС, определяемые по параметру Rmax на поверхности образцовых мер, не должны превышать значений, указанных в табл. 7.

Таблица 7

Диапазон параметра		измерения ^Rmax' ^мкм		Базовая длина, мм	Предел допускав мой систематической составля ющей погрешности, %, ДЛЯ ТИПО!	Предел дояускае-.мого среднего квадратического отклонения случайной составляю щей погрешности, %, для типов	Предел допускаемой суммарн погрешности среднего трех измерении. % для типов
Диапазон параметра		измерения ^Rmax' ^мкм		Базовая длина, мм	ПТС, ПСС	ПТС. ПСС	ПТС, ПСС
Св.	160	до	320	8	12,0	0,5	2,5
Св.	80	до	160	8	2,5	1,0	3,5
Св.	40	до	80	8	3,0	1,7	5,0
Св.	30	до	40	2,5	3,2	1,7	5J5
Св.	/20	до	30	2,5	3,6	2J0	6,5
Св	10	до	20	2,5	4,0	3,5	8,5
Св.	6,3	до	m	0,8	5,0	14,5	10,0
Св.	3,2	ДО	6,3	0,8	7,0	6,5	\|14;0
Св.	1,6	ДО	3,2	0,8	9,0	8,0	20,0
Св	о сг> со	до	1,6	0,35	1I2J0	10,0	04,0
Св.	0,5	ДО	0,63	1 0,26	16,0	1J2.0	30,0

(Измененная редакция, Изм. № 1).

2.8. Характеристики относительной погрешности приборов типов МИИ и МПИ, определяемые по параметру Rmax, не должны превышать значений, указанных в табл. 8.

Таблица 8

Тип прибора	Диапазон измерения параметров «max’ ^мкм	Базовая длина, мм	Апертура объектива	Предел допускаемой систематической погрешности, %	Предел допускаемого среднего квадратического отклонения случайной погрешности, %	Предел допускаемой суммарной погрешности трех измерений, %
			0,3	ею	5	24
МИИ	Св. 0,4 до 0,8	0,25	iOt 0,5 до 0,66	14	5	18
	Св. 0,4 до 0,8	0,25	От 0,85 'до 0,95	10	5	15
МПИ			0,5	14	5	18
МИИ			От 0,5 до 0,65	30	40	40
МИИ	Св 0,1 до 0,4	0,25	От 0,85 до 1,215	120	ДО	30
МПИ			0,5	18	НО	30
МИИ	Св 0,05	10,08	От 0,95 до 1,25	30	20	50
МПИ	до 0,1	10,08	0,15	40	20	35

ГОСТ 9847-79 С. б

ПРИЛОЖЕНИЕ 1 (Исключено, Изм. № 1).

ПРИЛОЖЕНИЕ 2 Справочное

ТЕРМИНЫ, ИСПОЛЬЗУЕМЫЕ В СТАНДАРТЕ, И ИХ ОПРЕДЕЛЕНИЯ

1, (Исключен, Изм. № 1).

2. Увеличение объектива с дополнительной линзой для приборов типов ПТС

и ПСС- увеличение оптической системы, проектирующей изображение в предметную плоскость окуляра.

С. 7 ГОСТ 9847-79

ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ

1. РАЗРАБОТЧИКИ:

А. Н. Кузнецов, А. А. Кучин

2. УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 29.08.79 № 3261

3. Срок проверки — 1995 г., периодичность — 5 лег

4. ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ

Помер Г1 \ На 1 л

Вводная часть

Обоыачение Н1Д. in мпорып дана ссылка

(ГОСТ /2789—73

5. Проверен в 1991 г. Ограничение срока действия снято Постановлением Государственного комитета СССР по управлению качеством продукции и стандартам от 23.04.91 № 551

6. ПЕРЕИЗДАНИЕ (декабрь 1992 г.) с Изменениями № 1, 2, утвержденными в декабре 1986 г., апреле 1991 г. (ИУС 3—87, 7—91)

Редактор Л. Д. Курочкина Технический редактор В. //. Прусакова Корректор В. М. Смирнова

Сдано в набор. 19.01.9?. Подп в пет. 23 03 93 Уел печ. л ОД Уел кп н^[ о 3.

Уч.-тд л 0.15 Тир. 100» эк t ■

Ордена «Знак Почета» Пиательсгво стандартов, 10/070. Москва Ко ■’о ie< .in и >р И. Тип «Московский печа1ник» Москва. Лялин пер., о Дан То

Название документа:	ГОСТ 9847-79 Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры
Вид документа:	ТУ
Принявший орган сертификации:	Госстандарт России
Где размещен документ:	Всероссийская БАЗА ТУ

ГОСТ 9847-79 Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры 4

ПРИБОРЫ ОПТИЧЕСКИЕ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ

ГОСТ 9847-79

Похожие ГОСТы